日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測(cè)儀 OPTM series
可攜帶至現(xiàn)場(chǎng)的手持式可測(cè)量0.1μm單位
具有形狀的樣品也可非破壞的測(cè)量

產(chǎn)品型號(hào)：OPTM-A1

更新時(shí)間：2025-04-10

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

訪問量：260

服務(wù)熱線

023-66376665

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

檢測(cè)、計(jì)量類

日本SEM 坂本電機(jī) 日本SPOTRON獅寶龍日本LUCEO魯機(jī)歐日本Otsuka大塚日本KANMAOX加野麥克斯日本 ORC歐阿希日本 IMV 艾目微日本EMIC艾美克日本SIGMA KOKI西格瑪光機(jī) NEW COSMOS 新宇宙日本 COSMOS 新宇宙

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日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測(cè)儀的測(cè)定步驟須知

產(chǎn)品介紹

可攜帶至現(xiàn)場(chǎng)的手持式

日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測(cè)儀 OPTM series
● 可測(cè)量0.1μm單位

● 具有形狀的樣品也可非破壞的測(cè)量

● 不論基材材質(zhì)、可測(cè)量其鍍膜

日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測(cè)儀 OPTM series
與桌上型光學(xué)膜厚儀相比，Smart膜厚儀在“現(xiàn)場(chǎng)"以非破壞式直接量測(cè)樣品，且可以量測(cè)特殊形狀樣品。
與接觸式膜厚儀相比，Smart膜厚儀不僅不會(huì)破壞您的樣品，也不會(huì)因用戶不同而產(chǎn)生誤差且遠(yuǎn)高于接觸式膜厚的量測(cè)精度。
與渦電流/電磁式膜厚儀相比，Smart膜厚儀不需要制作檢量線，且可以量測(cè)非金屬基材并且得到絕對(duì)值！

非接觸式載臺(tái)

對(duì)于濕膜或半導(dǎo)體晶圓等不想接觸的樣品，可以通過自由設(shè)定探頭位置進(jìn)行非接觸測(cè)量。

產(chǎn)品開發(fā)-量測(cè)試作品

1.攜帶到合作廠商等，直接在現(xiàn)場(chǎng)量測(cè)效率Up

2.試作階段的檢查方法商定效率Up

規(guī)格樣式

量測(cè)原理	反射分光法（光干涉法）、非破壞性量測(cè)
膜厚量測(cè)范圍	1~50μm（顯示上限60μm）
重復(fù)精度	2.1σ 0.01μm（SiO2膜1μm）
量測(cè)時(shí)間	1秒內(nèi)
量測(cè)層數(shù)	1層
數(shù)據(jù)輸出	附屬操作屏幕顯示或以USB輸出Excel檔案
量測(cè)Spot	Φ1mm以下
重量	約1.1kg